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OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL 带有预热系统的滑动PECVD
- 型号
- OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL
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详细信息
产品特点：
•与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏；
•可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；
•炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃；
•带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
加热炉参数：
•连续工作最高温度为1100℃
•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；两个温区最大温差为：400℃
•内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。
•工作电源：208-240V AC单相，最大功率：4KW
电动滑轨：
•可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果
•滑动速度：0-70 mm/s（可调）
升降温速率：
• RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买)
•为获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品放置区
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
炉体尺寸：550mmL-380mmW-520mmH
滑轨长度：1750mm
净重：220Lbs
质保：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
