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OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统

型号
OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE
参数
产地类别:国产 应用领域:化工,能源,电子 输入电压:AC208-220V, 50/60Hz
上海添时科学仪器有限公司

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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉,退火炉,气氛炉,真空感应熔炼炉,箱式炉,手套箱,研磨抛光机,电池测试恒温箱,金刚石线切割机,磁控溅射仪,蒸发镀膜,PECVD设备供应商!

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未来,公司将引进和代理更多国内产品,并将研发自有品牌的产品以满足市场不同的需求,以更高质量的产品,更高质量的服务,更高效率的运营,朴素而先进的管理理念,为客户提供更优良的产品和服务!

公司宗旨:客户至上 诚信为本 开拓创新 成就*




详细信息

    1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点:

    1、射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

    2、齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

    3、4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

    4、炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。

    1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数:

    工作电源:

    •输入电压:AC208-220V,50/60Hz

    •总功率:<4KW

    加热炉参数:

    •最高温度:1100℃(<30min);连续工作温度:1000℃;

    •两个PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

    •工作电压:110V;

    •额定功率:1.5KW;

    •回转炉旋转速度:0-5rpm。

    射频电源:
 
image.png

    真空系统:

    •·采用TRP-12的双旋真空泵;

    •KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

    •真空度可达10-2Torr。

    供气系统(可选):

    •客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

    •流量范围:

image.png
    •电压:208-240V,AC,50/60Hz;

    •气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;

    •不锈钢针阀用于手动控制气体进出

    •PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

    循环水冷机:

    标配KJ-5000循环水冷机,水流速率:16L/min

    产品尺寸和重量:

    尺寸:1400mmL-600mmW-1240mmH

    净重:90Kg

    承诺:

    一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件

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产品参数

产地类别 国产
应用领域 化工,能源,电子
输入电压 AC208-220V, 50/60Hz
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详询客服 : 0571-87858618
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