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OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL 三温区1500℃PECVD系统
- 型号
- OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL
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上海添时科学仪器有限公司是一家代理国内外仪器的经销及技术服务的专业公司。国内管式炉，退火炉，气氛炉，真空感应熔炼炉，箱式炉，手套箱，研磨抛光机，电池测试恒温箱，金刚石线切割机，磁控溅射仪，蒸发镀膜，PECVD设备供应商！
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详细信息
产品特点：
•带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰，便于观察等离子发光（图1）；
•射频电源可实现等离子增强，从而显著降低实验温度；
•四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;
•此款设备可安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑（图2、3）；
•此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表（图4）。
基本参数：
•最高工作温度1500℃（<30min）；连续使用温度1400℃；
•三个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃，带有超温和断偶保护；
•·输入电源： 208-240V，AC，单相；最大功率：6.6 KW；
•内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。
•注意：此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。
射频电源：
真空系统：
•·采用TRP-12的双旋真空泵；
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
•真空度可达10-2Torr。
供气系统（可选）：
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）;
•流量范围：
•电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
•气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量：
•炉体尺寸： 550mm L'380mm W'520mm H
•炉体下端移动柜：1800mm L'600mm W'600mm H
•净重：100 kg
•运输重量：550 kg
承诺：
一年保质期，终身维护，不包括炉管，硅胶密封圈和加热元件
