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ZEPTO 德国Diener等离子清洗机
- 型号
- ZEPTO
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半导体化工领域专业实验设备供应商：迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
技术数据
2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域:
小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术
1.基本装备：
根据组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本 1.7 - 2.6 升
供电电源：230 V
2.气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 ∅ 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm）
W6（约 ∅ 160 mm，长 180mm）
4.装载件
产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
5.电极：
单层或多层
真空腔室外部的一对电极
6.控制系统：手动、Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
7.压力测量：Pirani
8.计时器：数字 、模拟
9.发生器：
频率：
40 kHz：功率 0 - 100 W
13.56 MHz：功率 0 - 200 W
