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PICO 德国Diener等离子清洗机

型号
PICO
迈可诺技术有限公司

中级会员11年 

代理商

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匀胶机,光刻机,显影机,等离子清洗机,紫外臭氧清洗机,紫外固化箱,压片机,等离子去胶机,刻蚀机,加热板

半导体化工领域专业实验设备供应商:迈可诺是一家富有创新精神的高科技公司,专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商,迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务,帮助我们的客户和合作伙伴取得成功。我们成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定,尊重他们的决定,并协助他们实现高效率的科研成果,追求丰富有意义的生活。



详细信息

型号PICO的德国Diener等离子清洗机可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。型号PICO的德国Diener等离子清洗机主要应用于以下领域:

分析 (REM, TEM)考古汽车研究和开发部门半导体技术小批量生产塑料技术医疗技术微系统技术传感技术灭菌纺织技术

1.基本装备:

   根据组件/选装件,外壳规格会有所不同

   腔室容积:根据具体版本 4 - 15

供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

2.气体供给:针型阀质量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室:

   圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 150 mm,长 320 mm 或长 600 mm)或

   矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 160 mm x 160 mm x 325 mm 600 mm

   矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 160 mm x 160 mm,长 325 mm 或长 600 mm

   圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长 300mm600 mm

圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约直径130 mm,长 300 mm600 mm

4.装载件

产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.电极:单层或多层RIE

6.控制系统

   半自动型

   Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系统 (Windows 10 IoT)

7.压力测量:Pirani电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

8.计时器:数字

9.发生器

频率:    

40 kHz:功率 0 - 200 W0 -1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz:功率  0 - 100 W0 - 300 W

2.45 GHz:功率 0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

10.真空泵

不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

11.其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项




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