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英国KP开尔文探针WF
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昱臣半导体技术（香港）有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商，昱臣半导体技术（香港）有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。
昱臣半导体技术（香港）有限公司目前代理的主要产品包括：
- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System)；
- 快速退火炉(RTP)；
- 回流焊炉，真空烧结炉(Reflow Solder System)；
- 探针台(Probe Station)，低温探针台(Cryogenic Probe Station)；
- 贴片机(Die Bonder)，划片机(Scriber)，球焊机/锲焊机(Wire Bonder)；
- 原子层沉积系统(ALD)，等离子增强原子层沉积设备(PEALD)；
- 磁控溅射镀膜机(Sputter)，电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator)，热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator)，脉冲激光沉积系统(PLD) ;
- 低压化学气相沉积系统(LPCVD)，等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)，快速热化学气相沉积系统(RTCVD)；
- 反应离子刻蚀机(RIE)，ICP刻蚀机，等离子体刻蚀机；
- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler)；
- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate)；
- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe)，光反射膜厚仪(Reflectometer)；
- 高温超导磁体(HTS Magnet)，快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer)；
详细信息
开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。
材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是的表面分析技术。
我们的开尔文探针系统包括：
□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；
□ 超高真空(UHV)开尔文探针；
□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针；
扫描开尔文探针系统 (ASKP)
ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：
□ 2毫米，50微米探针；
□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；
□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；
□ 表面势和样品形貌3维地图；
□ 探针扫描或样品扫描选配；
□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；
□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；
□ 备用的针尖放大器；
□ 24个月超长质保期；
