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RISE-300 自然氧化膜去除设备
中级会员第3年
经销商深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm,300mm尺寸晶圆。
产品特性 / Product characteristics
•高产率以及低CoO
•良好的刻蚀均一性(小于±5%/批)和再现性
•干法刻蚀
•Damage-Free(远端等离子、低温工艺)
•自对准接触电阻仅为湿法的1/2
•灵活的装置布局
•高维护性(方便的侧面维护)
•300mm晶圆批处理:50枚/批
产品应用 / Product application
•自对准接触形成工艺处理
•电镀工艺处理
•晶膜生长处理
•Co/Ni自对准多晶硅化物的处理
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年,由武汉大学团队孵化,致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。公司主要业务如下:装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。设备服务:驻场或者 oncall,装备维护、保养、售后技术支持。厂务服务:驻场或者 oncall,人力服务及厂务二次配工程。经历五年高速发展,2023 年营业额达 3.2 亿,连年复合增长率达 300%,现处于稳定扩张期。2、成长历程•2020年(公司成立年)•2300万订单额2021年 7000万订单额2022年 2.5亿订单额2023年3.2亿订单额