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ULT-1400 TCO激光划线设备
- 型号
- ULT-1400
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
TCO激光划线设备ULT-1400
本设备通过近红外脉冲激光烧蚀法除去玻璃基板上成膜的透明电（TCO）膜，是一种枚用式激光划线设备。本设备由6个IR激光法阵器和光学系统、Bridge式XY平台（X轴：下轴、Y轴：上轴）、基板搬送机构、集尘机、激光测定机构和控制系统构成。采用光纤激光和花岗岩平台，可实现高精度高稳定性。
产品特性 / Product characteristics
•搭载6台结合二管的IR激光器
激光由光纤传输，脉冲波幅可变
•简单而高稳定性的光学系统
•花岗岩制XY平台
高精度、低热变动
•独立激光位置控制
全部的IR激光器独立搭载在Y、Z轴上
•激光输出自动测定、校准功能
•节拍时间 < 90 sec(弊公司标准样本)
产品应用 / Product application
•薄膜太阳能电池(TCO Laser scribing)
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
