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TFG-3200 全自动减薄机
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1 产品概述:
全自动减薄机是一种用于信息科学与系统科学、材料科学领域的工艺试验仪器,尤其在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色。它采用先进的技术和设计,能够高效、精准地将晶圆或其他材料的厚度减薄到范围内,为后续的制造工序提供高质量的基材。
2 设备用途:
全自动减薄机主要用于半导体制造、微电子、光学制造等领域。具体而言,其主要用途包括:
1、 晶圆减薄:在半导体制造过程中,将晶圆厚度减薄至特定尺寸,以满足芯片封装和性能要求。减薄后的晶圆更有利于后续的封装工艺,同时能提高芯片的散热效果。
2、 材料加工:除了晶圆外,全自动减薄机还可用于硅片、光学材料等厚材料的加工,通过调整工作参数实现不同厚度和形状的加工,提高材料的加工质量和效率。
3. 设备特点
全自动减薄机具有多个显著特点,这些特点共同构成了其高效、精准和可靠的性能:
1、高精度控制:采用先进的位置传感器和伺服系统,确保在减薄过程中能够精确控制晶圆或其他材料的位置和厚度。这种高精度控制有助于减少加工误差,提高产品质量。
2、超高速研磨:配备超高速研磨系统,能够实现快速磨削和精确厚度控制。这不仅提高了生产效率,还确保了加工过程的稳定性和一致性。
3、智能化操作:配备智能操作系统,支持自动化操作,降低了对人工操作的依赖。用户可以通过预设程序或界面进行参数设置和监控,实现高效、便捷的加工过程。
4、环保工艺:采用环保工艺和材料,减少有害物质排放,确保生产过程的安全和环保。这符合现代制造业对可持续发展的要求。
综上所述,全自动减薄机以其高精度控制、超高速研磨、智能化操作、环保工艺、多功能性和高稳定性等特点,在半导体制造和其他材料加工领域发挥着重要作用。
4 设备参数:
项目 | TFG-3200 |
大晶圆尺寸 | 8 英寸 |
砂轮规格 | Ø303(OD)mm |
砂轮轴数量 | 2个 |
砂轮轴功率 | 9.5kW |
砂轮轴转速范围 | 0~4000 RPM |
工作台转速 | 0~300 RPM |
工作台移动方式 | Index转位式 |
Z轴进给速度 | 0.1~1000 um /sec |
厚度在线测量方式 | IPG,实时测厚 |
厚度在线测量范围(IPG) | 0-1800um |
NCG非接触实时测厚系统 | 可选配 |