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AIT XP 晶圆检测仪
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KLA-Tencor AIT XP 晶圆检测仪
是一种先进的晶圆测试和计量系统,专为半导体制造过程中的缺陷检测和过程控制而设计。该系统利用高精度的成像技术和专有算法,能够快速、准确地识别和分析晶圆上的缺陷,从而提高生产效率和产品质量。
KLA-Tencor AIT XP 系统具有以下特点:
高速度和高通量:该系统能够在80秒内完成整个图案化晶圆的检查,并且具有较高的缺陷捕获率,这使得其相比现有系统可以提高多达75%的吞吐量。
先进的检测技术:KLA-Tencor AIT XP 使用暗场显微镜技术进行缺陷检测,结合混合模式检测(Mixed Mode Detection),以满足0.13微米及更小设计规则的需求。
模块化设计:该系统包括一个模块化的片上芯片(SOC),配备激光二极管阵列,以提高测量的可靠性和重复性。
自动化功能:KLA-Tencor AIT XP 配备了自动探针加载和高级算法,以确保精确的质量保证评估和过程控制。
广泛的应用范围:该系统不仅适用于掩模车间和晶圆厂,还适用于其他半导体铸造厂,支持多层能耗层计量和深度学习及人工智能等先进技术。
动态优化:通过使用KLA的NexTek技术,AIT XP能够实时监控并优化光刻模块工艺和非光刻模块工艺,从而提升整体工艺控制水平。
总之,KLA-Tencor AIT XP 是一款功能强大且高效的晶圆测试和计量设备,通过其先进的检测技术、自动化功能和模块化设计,能够显著提升半导体制造过程中的缺陷检测能力和生产效率。
商业可用系统
高速检测高级设备
单次通过图案晶圆
深场探测系统
支持0.13um及以上设计规则过程
高缺陷捕获率,吞吐量提升75%
半导体制造过程控制
晶圆测试和计量设备
自动化探针加载
先进算法提高准确性和重复性
模块化系统设计
面向半导体行业设计
提供高水平的工艺控制和资产利用率