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Lumina AS/P 金属有机物化学气相沉积设备
- 型号
- Lumina AS/P
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1.产品概述：
Lumina® 系统基于 Veeco 业界的金属有机物化学气相沉积 (MOCVD) TurboDisc® 技术，在长时间的生产过程中，其具有均匀性和低缺陷率，带来出色的产量和灵活性。此外，Veeco 的有技术也提供均匀的热控制，可实现的厚度和组合均匀性。该系统提供无缝晶片尺寸过渡，能够在直径达 8 英寸的晶片上沉积高质量 As/P 外延层。Lumina 系统允许用户自定义系统以实现大价值。
2.产品应用：
VCSEL
3D 传感
LiDAR
高速数据通信
边缘发射激光器
先进的光学通信
硅光电
迷你和微型 LED
4K 和 8K 电视显示屏
智能手机
可穿戴设备
AR/VR（增强现实/虚拟现实）
