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SME-3500 日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机

型号
SME-3500
玉崎科学仪器(深圳)有限公司

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详细信息

日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机

日本ULVAC爱发科半导体中电流离子注入机


用于研究和开发的中电流离子注入机SME-3500

中电流离子注入机IMX-3500是一款最高能量为200kV、晶圆尺寸最大为8英寸的离子注入机,非常适合大学的研发。


特征

  • 最大晶圆尺寸为8英寸,配备可处理不规则形状基板的压板。

  • 除了气体源之外,固体蒸发源也可用于易于安全处理 B、P 和 As 离子的离子源。

  • 高压端子部分与量产设备配置相同,确保高可靠性。

规格

活力30 至 200keV(可选 3 至 200keV)
最大束流11B+ 400μA(200keV)
31P+ 600μA(200keV)
最小束流150纳安
离子种类B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他









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