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IH-860PSIC 日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机
- 型号
- IH-860PSIC
真空泵;离心机,;监测仪,真空系统,除尘装置,数字粉尘仪;粒子计数器,环境监测设备,环境测量设备 环境检测设备
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详细信息
日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机
日本ULVAC爱发科半导体SiC 高温离子注入机
SiC 高温离子注入机IH-860PSIC
这是配备高温ESC的用于SiC量产的高能离子注入机。
特征
可自动连续高温处理注入
可注入高达 350keV 的单价离子和 700keV 的双电荷离子
（可选支持高达 430keV 的单价离子和 860keV 的双电荷离子）双端站实现高吞吐量
（A系统4"高温电调/B系统3"高温电调、A系统6"高温电调/B系统6"常温电调等，规格可根据客户需求订做愿望）可进行链条注射，减轻操作员负担
紧凑型设计
从原型到批量生产，我们提供广泛的支持。
目的
SiC用离子注入机
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