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PALET DDB-701 日本无掩膜光刻机 研发及小批量订单利器
- 型号
- PALET DDB-701
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钢化玻璃表面应力仪，FSM-6000LEUV、FSM-6000LE、FSM-6000X、双光源玻璃应力仪、SLP-2000、微晶玻璃应力仪、手持应力仪、便携应力仪
田野仪器专注于化学强化玻璃表面应力检测仪器的研制和销售，并拥有玻璃应力测试软件著作权，为客户提供玻璃表面应力仪及锂铝硅玻璃软件定制产品。产品分为三大类，全自动、高精度玻璃应力仪应用于计量及科研领域，客户涵盖大学、国家*、航空/航天/中科院/中电等科研机构；工业用玻璃应力仪广泛应用于车载加工领域，客户包括信利半导体、星星光电、天马微、等大尺寸生产厂商，*；手机玻璃检测应力仪成为华为和oppo vivo 小米等终端厂商的*品牌，并在京东方、天马微、蓝思、伯恩、韩国jntc等手机面板供应商大量推广。
田野仪器具有玻璃表面应力仪独立研发，光学和机械核心元件制造，光学装校，和性能测试的全过程能力。掌握玻璃表面应力仪的核心技术，光学系统的设计、应力仪用光学镜片的制造、标准镜头的生产全部实现自产自供。具备光学光源加工、led-595nm、led-365nm、led-790nm定量加工的技术能力。
随着公司不断成长，目前具有年产500台玻璃应力仪(fsm-6000le、fsm-6000leuv、SLP-2000、SLP-1000、fsm-6000leir)的能力，累计销售超过2000台，结合完善的销售渠道和售后服务，服务科研院所，大学和企业，并销往日本，韩国、美国和欧洲等地。
详细信息
桌面无掩模(直接曝光)光刻系统，通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。
桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL,桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL
产品特点
硬件特性
小型化
内置隔振机构和真空吸油泵
只需要电源和光刻间
软件特性
用户方便型接口
简易流程
支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型
型号 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
载物台(Stage) | 手动 XYZθ载物台 | 电动 XYZθ载物台 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 线宽 | 3μm *1 | |
单次曝光面积 | 1mm×0.6mm *1 | |
每张照片曝光时间*3 | 1～2 sec. *1 | |
Max. 曝光区域 | 25mm×25mm(手动连接) | 25mm×25mm(自动连接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文档格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主体尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主机重量 | 30kg |
*1在使用×10物镜的情况下
*2在使用×2物镜的情况下
*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)
日本无掩膜光刻机 研发及小批量订单利器
