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UltraINSP晶圆表面缺陷检测系统是表面缺陷检测的蕞完善的国产化替代产品，系统包括四个模块可以检测所有晶圆表面并同步采集数据：晶圆正面、背面、边缘缺陷检测模块；轮廓、量测和检查模块；其提供了自适应数据采集控制，创新地利用测量评估结果匹配多传感融合测量技术以保证检测准确与稳定，系统可蕞大程度的替代进口缺陷检测设备，具有很高的经济效益。
目前可定制的缺陷类型：
边缘缺陷检测：崩边、缺角
切割槽深度与宽度检测
切割缺角、豁口检测
切割槽多余材料堆积
引线键合质量检测
焊点质量检测
