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系统可以为各种材质薄膜提供高精度的厚度均匀性测量。使用创新的融合光谱反射技术、近红外干涉技术以及高亮度光源驱动的光谱椭偏仪技术的多传感器融合测量技术，是国内可以实现同质膜厚全自动检测的系统。
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*1：静态精度或可称为同点位多次连续测量的最大偏差值，数据为针对50um厚度双抛玻璃片进行实验的结果
*2：多次取放测量同点位数据的最大三倍标准差值，数据为针对50um厚度双抛玻璃片进行实验的结果
