单点少子寿命测量仪
单点少子寿命测量仪
单点少子寿命测量仪

FPFRE-MDPspot单点少子寿命测量仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-11 11:22:15
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应用领域:医疗卫生,化工,电子;
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医疗卫生,化工,电子
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孚光精仪(中国)有限公司

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产品简介

单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。

详细介绍

单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。单点少子寿命测量仪可测量小于156mm厚度的晶锭,没有自动化配置,手工操作。可增配电阻率测试功能,适合硅,晶圆片和晶锭寿命测量。

单点少子寿命测量仪特点
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的最高分辨率
对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项
单点少子寿命测量仪优势
用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。
单点少子寿命测量仪
单点少子寿命测量仪技术参数


样品不同工艺处理样品,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm²
电阻率0.2 - 10³ Ohm cm
材质硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,化合物半导体和其它类型
少子寿命检测范围20ns到几十ms
尺寸360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg
电源110/220 V, 50/60 Hz, 3 A





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