3D光学轮廓仪是具有白光干涉和相移干涉技术的表面形貌仪,具有高扫描速度,垂直分辨率高达亚纳米0.1nm,从而具有三维台阶仪功能。
3D光学轮廓仪NV系列具有探针jian端/倾斜功能，能够测量甚至高度倾斜的表面。可以虚拟测量任何表面，并立即显示生动的3D图像，如纹理,粗糙度,透明的样品等等。
3D光学轮廓仪特点
白光扫描干涉技术-非接触、无损、快速测量
触针仪器不能测量小于触针jian端直径的微凹凸。白光干涉测量法可以测量微几何形状的表面粗糙度由于微小的光斑尺寸而具有相当高的分辨率。
移相干涉技术
相移干涉测量法是一种成熟的技术用于依赖于在受控相移期间获取的干扰数据，大多数通常由受控的机械振荡引起干扰物镜,它提供具有典型高度测量的完整3D图像,重复精度高达1nm。
区域扫描强度测量方法
与扫描视场中每个点的方法不同，WSI具有通过测量来减少测量时间的*点区域扫描

轮廓仪的粗糙度测量功能