三维表面轮廓仪是进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。
三维表面轮廓仪根据国际标准计算2D和3D参数，使用***新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠***新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力。
三维表面轮廓仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。

三维表面轮廓仪参数：
XYZ行程范围：200mm x 200mm x 200mm
***大速度：40mm/s
轴向平整度：<2u/100mm
轴向分辨率：0.062um
测量传感器：非接触式共聚焦传感器
测量范围：100um-25mm
Z轴分辨率：可达3nm
横向分辨率：0.9um
台阶高度测量：0.005%
粗糙度测量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小测量厚度：4um
表面轮廓仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积
        分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度
                                摩擦学研究，光谱分析
三维轮廓仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。