白光干涉仪是采用德国白光干涉技术的3D表面形貌仪和3D表面轮廓仪，测量精度可达亚纳米。
3D白光干涉仪采用引导性界面的软件，非常适合3D表面形貌测量,可用于大学，研究所，企业研发机构实验室。
白光干涉仪特点
白光干涉技术
引导性界面方便使用
快速测量
节省成本
可靠
测量高度可达220mm
测量精度可达亚纳米
高速测量
CNC功能
防碰撞安全机制
HD缝合功能支持大面积测量
高动态范围

3D白光干涉仪是高精度3D表面测量仪器，测量精度可达亚纳米，可快速给出可靠的3D表面形貌测量值。
3D白光干涉仪具有良*的分辨率，可测量大尺寸表面粗糙度，及时对于光滑表面，也能给出可靠的粗糙度数据。
3D白光干涉仪软件具有高清图像缝合功能，满足高分辨率大面积表面形貌测量。

3D白光干涉仪技术规格
图像采集像素：1440x1200像素 （可选2448x2048像素）
XY单次测量***多采集点：172.8万点
***高采样速度：140HZ @满幅分辨率
HDR： 16bit
***多测量点：500万
***大测量高度；220mm
***大样品重量：10kg
可测样品表面：反射率0.1-100%， 镀膜，非镀膜，反射表面和漫反射表面均可
竖直方向微调精度：250微米
XYZ位移台：手动
XYZ行程范围：X200 Y105 Z220mm
重量：55kg