形貌轮廓激光显微镜是采用激光显微镜技术的表面轮廓形貌仪器,具有白光共聚焦,激光共聚焦,差分干涉对比,白光干涉,相移干涉法和光谱反射薄膜厚度测量6种表面形貌轮廓测试技术。
形貌轮廓激光显微镜特点
提供高达6种表面形貌轮廓测试技术功能
满足工业应用的规格和高精度
多种测量,分析功能
全自动操作
形貌轮廓激光显微镜具有共焦光学，差分干涉对比度，垂直扫描白光干涉测量，相移干涉测量和光谱反射膜厚度测量。它解决了通常需要使用多种工具的各种需求。

可作为白光共聚焦显微镜使用,提供高对比度,全彩色观察和高精度3D轮廓形貌测量功能


可作为激光共聚焦显微镜使用,提供高解析度图像


差分干涉对比技术结合共聚焦光学提供高对比度层析图


垂直扫描白光干涉功能提供纳米尺度测量，特别适合晶圆,薄膜测量


相位转换干涉技术提供*高分辨率层析测量功能


光谱反射技术可以测量透明薄膜厚度