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聚合物笔印刷
Polymer Pen Lithography (PPL)聚合物笔印刷是新发展起来的图案化方法,结合了微接触印刷(uCP)和蘸笔印刷(DPL)的优点,可以实现低消耗、柔性的分子印刷,可能使得纳米图案化领域发生变革。 PPL是基于无悬臂的扫描探针印刷技术,无需掩膜版即可在超平方厘米的区域内,利用弹性体的笔尖在多种材料和基底上打印10nm 到90nm 范围内光斑尺寸的数字化图案。
当锋利的笔尖接触到基质,墨水被传递到接触点。PPL是一种可以直接拼写的技术,相对于典型打印技术可以更好的地生产复杂的图案,并且可以研究超材料结构和器件的光电性质。利用这种技术,可以制备由蛋白质等软物质组成的结构阵列,在生命科学领域有着潜在的用途。
Park XE-PPL:
解耦无弓型弯曲扫描器,使聚合物笔阵列均匀接触,当我们使用该系统扫描相当平整的硅晶圆时,100um和400um的运动范围,曲率分别小于2nm和10nm。
电动二维倾斜平台,聚合物笔阵列的电动调平,XY倾斜角度分辨率为5urad(0.0003°),XY倾斜角度范围为±3度。
扫描结果可以减少依赖扫描位置,无需软件处理
提供宽广的光学视图,分辨率<1um,可显示1mm×0.75mm视图且可以移动1cm×1cm,所以可以监测所有笔阵列区域
Z轴的长移动范围 (25um),可以更好的控制接触力,而且可制作图案的尺寸范围也很大(50nm-25un)
聚合物笔印刷应用
扫描探针嵌段共聚物印刷 (SPBCL)
光束笔印刷 (BPL)
硬尖软弹簧印刷 (HSL)
多重模式的蛋白质阵列
材料科学与技术;纳米粒子图案化,多重纳米粒子阵列,集成电路
生物和药物学:蛋白质,抗体和DNA纳米阵列,可用于药物筛选,医学诊断,生物传感器和生物芯片的研究