产品简介
RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。
详细介绍
RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。
技术参数
射频电源 ![](http://www.mtixtl.com/images/products/thumb/RF1002.jpg)
(点击图片查看详细资料) | - 输出:5-100W(可调),稳定性:± 1%
- 频率:13.56MHz,稳定性:±0.005%
- 匹配方式:手动匹配
- 冷却方式:风冷
- 噪音量:<50 dB
- 输入:110 -240VAC, 50/60Hz
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尺寸 | ![](http://www.mtixtl.com/images/products/thumb/RF1003.1.jpg)
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可选配件 ![](http://www.mtixtl.com/images/products/thumb/1inch1.jpg)
| - 1英寸高真空磁控溅射头,可自己搭建RF或DC溅射镀膜仪
- 当同时购买100W射频发射器和1英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
- 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
- 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L
![](http://www.mtixtl.com/images/565656.JPG) ![](http://www.mtixtl.com/images/coneection%20method%20of%20quick%20disconnect.JPG) ![](http://www.mtixtl.com/images/products/thumb/CW3000AG1.jpg)
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质保期 | 一年质保期,终生维护 |