500W直流溅射电源--DC-500-LD_溅射源及真空腔体-中美合资合肥科晶材料技术有限公司手机版

详细介绍

技术参数

输入电压	AC220V
输出	zui大输出功率：500W zui大输出电压：DC600V 电压分辨率：DC1.0V zui大输出电流：DC0.8A 电流分辨率：1mA 控制精度：+1%
尺寸	W440mm X H160mm X D440mm
可选配件	2英寸高真空磁控溅射头，可自己搭建RF或DC溅射镀膜仪当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
质保期	一年质保期，终身维护