本公司提供高真空腔体，客户可自行为一些实验搭建真空系统，如等离子溅射，CVD或ALD等实验，同时也可作为高真空储存箱。
技术参数
腔体 | - 真空腔体是采用304不锈钢制作
- 内部尺寸为：372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
- 真空腔体前部安装有一个直径为350mm的门，而且门上面有一个直径为150mm的玻璃窗口
- 门部位采用硅胶密封圈密封
- 真空度可达到1×10-6 torr
- 内部加热平台的温度可达到150℃
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接口 | - 腔体后端有一个KF40接口，用于连接真空泵
- 顶部有一1/4 NPS
- 顶板可以进行打孔和改造，以便于安装各种接口和接头
- 客户可在本公司购买快速真空接头
  
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可选 | - 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，不需因测量气体种类不同而需要系数转换（请点击图片查看详情）
- 分子泵系统
 
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| 外形尺寸 |   |
质保期 | 一年质保期，终身维护 |
