NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-13 10:44:30
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产地类别:进口;应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药;
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药
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那诺中国有限公司

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产品简介

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀:是一款自动放片/取片,并且工艺过程为全自动计算机控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,可以用于表面清洗、表面处理、离子铣。

详细介绍

IBE离子束刻蚀

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀产品概述:该系统为全自动上下载片,并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为。

该IBE离子束刻蚀系统具有很强的适应性,可根据不同的应用而按不同的配置进行建构。多样的样片夹具和离子源配置可支持用户不同的应用。用于离子铣系统的样片夹具可以支持±90°倾斜、旋转、水冷和背氦冷却。

我们的IBE离子束刻蚀系统可以把基片温度保持在50°C以内的能力。通过倾斜和旋转,可以刻蚀出带斜坡的槽,并且改善了对侧壁轮廓和径向均匀度的控制。不同的选配项可以用于不同的网格配置以及中和器。溅射选配项可以支持对新刻蚀金属表面的涂覆,以防氧化。此外,还可以选配单晶圆自动上下片功能。该系列IBM离子铣系统或IBE离子束刻蚀系统可以配置RF ICP离子源,升级为RIBE反应离子束刻蚀系统。

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀产品特点:

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀设备应用:

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