Akribis-air智能研磨抛光机，具有高度自动化的独立系统，提供了工艺创新，在短时间内可实现zui高水平的处理。

Akribis-Air智能研磨抛光机功能：

• 盘面平整度控制
• 夹具自动设置
• 动态负荷控制
• 增加控制参数
• 实时数据收集和反馈
• 计量磨料供应
• 自动清洗功能

    单工作站系统配有400mm的盘，速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统，在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。

Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:

• 硅集成电路、太阳能和波导
• III-V族化合物稀释和抛光
• 蓝宝石和发光二极管
• 碳化硅光学,发光二极管和电力电子
• 氮化镓-光学仪器、激光、射频高频