KLA-Tencor AIT I 晶圆检测仪

是一种用于检测图案化晶圆表面缺陷的系统。该系统配置为处理6英寸（150毫米）和8英寸（200毫米）的晶圆，并具备自动对焦和双暗场检查功能。此外，它还配备了多通道采集光学系统、独立可编程的空间滤波器以及X/Y驱动/控制器机架和运动控制器卡。

AIT I 系统是一种高速晶圆测试和计量系统，旨在检测即使是最小的、可能降低产量的隐形对眼缺陷，从而为半导体制造企业提供更好的质量控制和更高的产量。这种系统的使用可以显著提高生产效率和产品质量，确保在生产过程中及时发现并修复潜在问题。

KLA-Tencor AIT I 的主要特点包括：

- 处理6英寸和8英寸晶圆的能力。

- 配备多通道采集光学系统和独立可编程的空间滤波器。

- 自动对焦和双暗场检查功能。

- 提供高精度的缺陷检测能力，能够快速准确地识别并分类各种类型的缺陷。

这些特性使得KLA-Tencor AIT I 成为半导体制造中的重要工具，帮助制造商提高良率和生产效率。