G300 质量流量计特点

 高精度、高分辨率控制

 低功率，功率＜0.5W

 集成 20 种基础气体种类 

 可自定义 10 种混合气体 

 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式 

 宽流量量程范围 

 无需预热 

 无安装方向限制 

 具有高重复性和高可靠性

 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

 具有高稳定性

 小封装尺寸 量程及精度简介

 可用量程： 

 最大 0-50slpm 

 最小 0-1sccm 

 常备量程请参考选型表 

 量程比：1000:1 

 满量程精度：±0.2% 

 读取精度：±0.8% 

 可重复性：±0.2%FS 

数字式设计简介

G300 系列质量流量计标配高精度传感器和 数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所 有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485  Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展 至 255 台设备同时使用。 

应用领域 

 气相和液相色谱仪 

 半导体工艺 

 环境监测设备 

 微反应装置及材料制备实验装置（CVD） 

 气体发生器 

 配气混气系统