设备主要规格参数：

1. 最小可检漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s

2. 最小可检漏率（吸枪模式）：1×10-7 Pa·m3 /s

3. 检漏口压力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa

4. 粗抽能力：14.5m 3 /h

5. 氦气抽速（Gross模式）：8 l/s

6. 氦气抽速（Fine模式）：7 l/s

7. 氦气抽速（Ultra模式）：2.5 l/s

8. 检漏口规格：DN 25 ISO-KF

9. 启动时间： ≤160s

设备主要规格参数：

1. 最小可检漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s

2. 最小可检漏率（吸枪模式）：1×10-7 Pa·m3 /s

3. 检漏口压力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa

4. 粗抽能力：14.5m 3 /h

5. 氦气抽速（Gross模式）：8 l/s

6. 氦气抽速（Fine模式）：7 l/s 7. 氦气抽速（Ultra模式）：2.5 l/s 8. 检漏口规格：DN 25 ISO-KF 9. 启动时间： ≤160s

四、技术服务及要求： 1. 供方负责调试、检验并交付仪器； 2. 供方现场对操作维护人员进行技术培训； 3. 质保期为1年，自发货之日起十日计算，保修期内免费提供服务，