二极离子泵元件技术

二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成，它们浸没在磁场中，使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子，从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速，穿透 Ti 层，而较重离子撞击阴极，使 Ti 溅射，并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。

三极离子泵元件技术

阴极无法捕获惰性气体（如氩气），因此必须将它们传输到阳极进行泵送。这些原子有两种传输方式：使用较重的阴极材料（钽）或不同的几何形状（三极泵）。三极离子泵由安捷伦（原瓦里安）基于改进的阴极几何结构发明。星形阴极增加了惰性气体作为高能中性粒子传输的概率，而钛阴极可确保为 XHV 范围内的残留气体 H2 提供高抽速。

SEM 阳极设计

由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。