VacIon Plus 150 离子泵体积适中，可提供较高抽速，可用 6 英寸 Conflat 法兰安装，通常用于需要达到超高和很高真空条件的实验室。该离子泵具有三种抽气单元类型。二极离子泵抽气单元适用于通用的超高真空和很高真空应用，在这些应用中对氢气的抽速至关重要，并且系统很少排气或发生空气泄漏。三极离子泵抽气单元可处理大量惰性气体（优于惰性气体二极离子泵）和氢气，对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。惰性气体二极离子泵抽气单元适用于需要抽除残留氩气和其他惰性气体的通用应用。

SEM 阳极设计

由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。