Agilent/安捷伦 品牌
生产厂家厂商性质
北京市所在地
VacIon Plus 200 离子泵已经过磁场优化，优化的磁场可更快抽真空（抽速峰值：10–8 mbar），是需要达到 UHV 和 XHV 条件理想选择。该泵经过真空烧制过程，可很大程度减少氢气逸出。
VacIon Plus 200 离子泵具有三种元件类型。二极离子泵元件适用于通用的 UHV 和 XHV 应用，在此应用中氢气抽速至关重要，系统很少排气或发生泄漏。三极离子泵元件可处理的惰性气体比改进型二极离子泵多，可处理的氢气比二极离子泵多，对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。改进型二极离子泵元件适用于需要抽除残留氩气和其他惰性气体的通用 UHV 和 XHV 应用。
配备三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元，以为不同气体提供最佳抽速
配备 ConFlat 8 英寸非旋转型法兰、额外 2.75 英寸 ConFlat 孔、双法兰和侧孔，可选不同方向的真空穿导件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可很大程度减少系统干扰
在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局，还可配备外部加热器和屏蔽磁体，满足您的需求
| 加热器电压 |
|
| 加热器电源 |
|
| 单元类型 |
|
| 工作寿命 |
|
| 抽气口法兰 |
|
| 最大启动压力 |
|
| 最高烘烤温度 |
|
| 极限真空 |
|
| 真空高压接头类型 |
|
| 重量（只有泵时） |
|
工作原理
二极离子泵元件技术
二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成，它们浸没在磁场中，使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子，从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速，穿透 Ti 层，而较重离子撞击阴极，使 Ti 溅射，并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。
阴极无法捕获惰性气体（如氩气），因此必须将它们传输到阳极进行泵送。这些原子有两种传输方式：使用较重的阴极材料（钽）或不同的几何形状（三极泵）。三极离子泵由安捷伦（原瓦里安）基于改进的阴极几何结构发明。星形阴极增加了惰性气体作为高能中性粒子传输的概率，而钛阴极可确保为 XHV 范围内的残留气体 H2 提供高抽速。
SEM 阳极设计
由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。
