Agilent/安捷伦 品牌
生产厂家厂商性质
北京市所在地
VacIon Plus 1000 离子泵可为大型系统提供出色的分析速度。可用于需要达到超高和很高真空状态的应用，是用于粒子加速器和重力波干涉仪的理想选择。
VacIon Plus 1000 离子泵具有三种元件类型。二极离子泵元件适用于通用的 UHV 和 XHV 应用，在此应用中氢气抽速至关重要，系统很少排气或发生空气泄漏。三极离子泵元件可处理大量惰性气体（优于改进型二极离子泵）和氢气（与二极离子泵相当），对甲烷、氩气和氦气具有最高的抽速和容量。改进型二极离子泵元件适用于需要抽送残留惰性气体的通用 UHV 和 XHV 应用。
配备三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元，以为不同气体提供最佳抽速
配备 ConFlat 12 英寸非旋转型法兰、额外 ConFlat 孔、双端和侧孔，可选不同方向的真空穿导件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可最大程度减少系统干扰
在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局，还可配备光学挡板、外部加热器和屏蔽磁体，满足您的需求
| 加热器电压 |
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| 单元类型 |
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| 工作寿命 |
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| 抽气口法兰 |
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| 最大启动压力 |
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| 最高烘烤温度 |
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| 极限真空 |
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| 真空高压接头类型 |
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| 重量（只有泵时） |
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工作原理
二极离子泵元件技术
二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成，它们浸没在磁场中，使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子，从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速，穿透 Ti 层，而较重离子撞击阴极，使 Ti 溅射，并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。
阴极无法捕获惰性气体（如氩气），因此必须将它们传输到阳极进行泵送。这些原子有两种传输方式：使用较重的阴极材料（钽）或不同的几何形状（三极泵）。三极离子泵由安捷伦（原瓦里安）基于改进的阴极几何结构发明。星形阴极增加了惰性气体作为高能中性粒子传输的概率，而钛阴极可确保为 XHV 范围内的残留气体 H2 提供高抽速。
SEM 阳极设计
由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。
