VacIon Plus 300 离子泵体积与重量适中，可提供较高抽速，用于需要达到超高和极高真空条件的实验室。

VacIon Plus 300 离子泵具有三种元件类型。二极离子泵元件适用于通用的 UHV 和 XHV 应用，在此应用中氢气抽速至关重要，系统很少排气或发生空气泄漏。三极离子泵适可处理大量惰性气体（优于改进型二极离子泵更好）和氢气（与二极离子泵相当）。三极离子泵对甲烷、氩气和氦气同样具有最高的抽速和容量。改进型二极离子泵元件适用于需要抽除残留氩气和其他惰性气体的通用 UHV 和 XHV 应用。

二极离子泵元件技术

SEM 阳极设计

由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。