DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-50P RF Matching Box 是一款经过机台长期验证的性能稳定，具有高可靠性的射频阻抗网络匹配器。DAIHEN RMN系列射频匹配器响应速度快，匹配精度高，能够有效地将射频传输至负载点，反射低损耗小，能源效益高，能够对等离子工艺进行高性能，高可靠性和精确控制。

DAIHEN 射频网络匹配器 RMN-50P 参数规格

设备品牌：DAIHEN

设备型号：RMN-50P

AC 电源输入：100V~200V，1 phase~，1.5A，50/60Hz

输入功率：5000W（Max）

RF射频频率：13.56MHz                             

整合精度：1% or less （Power Ratio）^*1

整合速度：3秒以内

通信接口：Monitor，Display，RS-232C，HV（24V），Relay

散热：水冷+风冷

设备尺寸：410 * 388 * 174 mm

设备重量：15kg

DAIHEN RMN-50P RF Matching Box 特点

1.优化定制设计适应用户负载阻抗和机械接口

2.优秀的“预测与校正”算法实现高速、准确的自动调优

3.可编程用户参数集（最多8组）