Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器特点：

l 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 的 124 毫米端到端长度相匹配。

l 多功能且准确。对 98 多种气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，精度可达 NIST 可追溯的读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%。

l 轻松集成。定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

设备规格和定制选项：

快速规格：

MCE 系列性能（大多数产品）

l 可用满量程范围：0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%

l 标准精度校准，NIST 可追溯：读数的 ± 0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

l 可选高精度校准，NIST 可追溯：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

l 重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）

l 典型控制响应时间：快至 30 ms

l 预热时间：<1秒

MCE 系列操作条件

l 兼容气体：98 种以上预加载的可选气体校准

l 工作温度：–10°C 至 +60°C

l 满量程工作压力：160 PSIA

l 最大压差：75 PSID

l 耐压：175 PSIA

l 用户可选择的参考条件（默认）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器设备范围和完整规格：

器件定制范围为 0.5 SCCM 满量程 至20 SLPM 满量程，可控范围为满量程的 0.01% 至 100%。

设备特点：

每台设备均附带

l 多变量过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

l 用户可更改测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

l 气体选择性：从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。

l Gas Select Composer™：使用我们的Gas Select Composer ™固件定义最多 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物 。

l 带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏轻松读取测量值，并通过用户友好的集成触摸板控制配置。

l 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。

l 用户可调节标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。

l 阀门关闭超控和阀门打开超控：利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。

购买时要求|自由的

l 可选的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次质量流量，以便精确跟踪一段时间内的总流量，并使用批量控制来分配精确的体积。

购买时要求|附加费用

l 可选的集成电位计控制：使用集成电位计，只需旋转旋钮即可调整设定值。

设备定制选项

构建和性能选项

l 通信协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

l 显示屏：单色或彩色背光；集成或面板安装

l 过程连接：压缩、VCR 或 VCO 接头

l 接液材质：302、303、304、316L、430FR不锈钢；FKM、氧化铝陶瓷、黄铜、玻璃、金、热固化环氧树脂、热固化硅橡胶、聚酰胺、硅

l 校准：高精度；自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

l MCE：内置小型比例控制阀

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥最大性能。

可选配件

配件|分开售卖

l 过程端口配件和过滤器

l 电源

l 通讯电缆及转换电缆

l BB3 和 BB9 多点接线盒