英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极 DST3-T 特点介绍

DST3-T 是一种三靶涡轮分子泵多真空镀膜系统，将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中。

高真空系统适用于多种材料的沉积。三重磁控靶台式溅射镀膜机可以轻松地在蒸发和溅射条件之间切换（不同时）。

DST3-T配备了一个大室（直径300毫米）和三个2英寸直径的水冷阴极，使其适合长时间溅射沉积。磁控台式溅射镀膜机配备射频和直流电源。它可以溅射半导体、电介质和金属（氧化和贵金属）靶材。

配备射频电源的 DST3-T 溅射镀膜系统配备自动调节匹配箱，可最大限度地降低射频溅射过程中的反射功率。DST3-T 型号包含可选功能，可增加镀膜对基材的附着力并改善薄膜结构，例如安装 500 ˚C 加热器以在沉积过程中加热基材，或向基材施加 300 V DC 偏置电压。

英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极 DST3-T 规格参数

内置涡轮泵，真空度高

双级旋片前级泵（隔膜和涡旋泵）

适用于金属、半导体和电介质的直流和射频（可选）电源

三个 2” 水冷成角度磁控管阴极，适用于生产合金薄膜 (DST3-TA) 和多层沉积

用于 DST3-TS 的大型样品架台（8 英寸）

专为大型基板均匀沉积而设计的阴极掩模 (DST3-TS)

两个固定和可移动石英晶体监测系统，用于实时厚度测量（1 nm 精度）

通过两个精密质量流量计 ( MFC )进行气体注入控制，以精细控制真空压力和氩气流量或反应溅射气体

全量程真空计

阴极选择电机

样品旋转、高度和倾斜可调（适用于 3 英寸样品架）

三个手动或电子（可选）百叶窗