日本filgen溅射/碳镀膜机系统多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特点介绍

●节省空间/台式溅射镀膜机

●快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

●可溅射/蚀刻

●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择（*见下文） 

 例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器 

日本filgen溅射/碳镀膜机系统多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 规格参数

模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB 

类型 基本的 带膜厚监测仪 具有蚀刻模式和

膜厚监视器 

电源 AC110V 50Hz(60Hz) 

配件 Au靶材厚度76μm/阴极57mmφ 

作品 真空控制基座单元 

碳涂层机模块（带碳纤维头） 

溅射镀膜机模块 

― 晶体谐振器膜厚监测器

*不能与碳镀膜机一起使用。 

● 节省空间/台式溅射镀膜机

● 快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

● 可溅射/蚀刻

● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择（*见下文） 

 例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器