日本Filgen等离子镀膜机用于导电性薄膜装置 OPC60A/OPC80T 特点介绍

电子显微镜试样用导电性薄膜制作装置等离子体涂布机

◆膜专用型（OPC60A）

◆膜/等离子体聚合膜双用型（OPC80T）

◆导电性超薄膜制膜机构

◆亲水化处理机构

◆深型试样机构

◆可选消耗品

日本Filgen等离子镀膜机用于导电性薄膜装置 OPC60A/OPC80T 规格参数

奥斯米解决等离子涂层原理和特强电子显微镜观察的烦恼！防止充电、粒状性、对减轻热损伤发挥了极大的效果。

奥斯米等离子体涂层是什么？等离子体涂布机是使用“通过直流辉光放电在负辉光相区域内的等离子体制膜法”，主要用于SEM试样的导电性薄膜制作装置。

通过等离子体CVD法，可以在短时间内形成非晶质的钕导电性薄膜（钕涂层）。

可获得具有非常坚固和光滑表面的导电薄膜，而不会对试样造成热损伤。

另外，除了标准规格的钕薄膜机构之外，还配备了使用了环烷的等离子体聚合膜机构、导电性超薄膜制膜机构、

亲水化处理机构、深型试样机构等扩展性优异的产品线，SEM、可对应TEM试样等各种预处理。

薄膜机构（标准规格）

●SEM试样的导电性薄膜

●防止SEM、TEM试样的污染

●AFM样品的保护膜

●SPM样品的导电性保护膜

●SPM用悬臂的保护膜亲水化处理机构（可选）

●在氟树脂表面等上涂覆前处理

●防止包埋树脂与试样剥离●提高湿性

●TEM支持膜表面的亲水化

●TEM用栅格的亲水化

●超微刀用金刚石刀刃尖亲水化等离子体聚合膜制膜机构

●FIB试样用保护膜●防止包埋树脂与试样剥离

●氟树脂的涂层（邻苯二甲烷-混合涂层）

●TEM栅格用支撑膜

●TEM用超薄切片防漂移导电性超薄膜制膜机构（可选）

●利用FESEM观察绝缘物的超微细结构

●利用ESCA、AES对绝缘物极表面信息进行定量分析

●TEM试样的导电性增强

●AFM试样的静电防护

●STM试样的防静电

●蚀刻（仅限混合气体方式）深型试样机构（可选）

●适用于更高试样的涂层