日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能 11427-AB 特点介绍

●节省空间/台式溅射镀膜机

●快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

●可溅射/蚀刻

●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

●提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择（*见下文） 

 例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器 

日本filgen碳镀膜机涂层系统快速响应高性能 11427-AB 规格参数

尺寸 260(宽)×310(深)×150(高)毫米 

沉积头 碳纤维头（标配）

碳杆头 

气相沉积用碳 碳纤维（标准碳蒸发头用）、

碳棒（碳蒸发头用） 

模型 11427-AB 

电源 AC110V 50Hz(60Hz) 

作品 真空控制基座单元 

碳涂层机模块（带碳纤维头） 

● 节省空间/台式溅射镀膜机

● 快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

● 可溅射/蚀刻

● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

●提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）：符合欧盟有害物质法规 

● 多种组合可实现多种选择（*见下文） 

 例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器