日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤 12151-AB/12151E-AB 特点介绍

●节省空间/台式溅射镀膜机

●快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

●可溅射/蚀刻

●可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

●惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）

● 多种组合可实现多种选择（*见下文）

例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器

日本filgen溅射镀膜机带蚀刻模式无热损伤 12151-AB/12151E-AB 规格参数

尺寸 260(宽)×310(深)×150(高)毫米

蚀刻 溅射/蚀刻模式模块

模型 12151-AB 12151E-AB 12151Q-AB 12151EQ-AB

类型 基本的 带膜厚监测仪 具有蚀刻模式和 膜厚监视器

电源 AC110V 50Hz(60Hz)

配件 Au靶材厚度76μm/阴极57mmφ

作品 真空控制基座单元

溅射镀膜机模块

― 晶体谐振器膜厚监测仪

● 节省空间/台式溅射镀膜机

● 快速镀膜（金镀层在 20 秒内电流可达 200A）——对样品无热损伤。

● 可溅射/蚀刻

● 可以通过移动样品台来调整到目标的距离。

● 惰性气体 - 输入/输出端口/可进行样品台冷却

● 提供各种靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可选）

● CE、RoHS（有害物质限制）

● 多种组合可实现多种选择（*见下文）

例） ① 有蚀刻模式 ② 有膜厚监视器 ③ 有蚀刻模式+膜厚监视器