详细介绍

日本ULVAC爱发科半导体卧式真空热处理炉

卧式真空热处理炉FHH系列

可广泛用于各种金属零件的淬火、回火、烧结、钎焊、退火等真空热处理。采用叉式运输方式，实现了两室或三室结构的多室炉。

特征

最高温度为1350℃，可在800至1150℃的常规温度下使用。
热均匀性保证在 1150°C ± 5°C 范围内。
加热室始终保持真空，从而能够以良好的再现性进行高质量的热处理。
通过使用载气法，可以进行抑制金属蒸发的处理。
冷却时，加热室不被冷却，节省电能。
加热室结构始终处于真空状态，因此不氧化，磨损少，寿命长。
加热室采用水冷夹套结构，阻隔内部热量，保持工作环境清洁。

目的

调质处理：各种机械零件、模具
烧结处理：硬质合金工具、磁铁
钎焊处理：热交换器、机械零件

规格

规格/型号				45	60	75	90	120	评论
表现	尺寸	均匀加热尺寸 [mm]	宽度	450	600	750	900	1200
			长度	第675章	900	1125	1350	1800
			高度	300	400	500	600	800
		最大处理能力[公斤]		200	400	650	1000	2000年	包括托盘重量
	温度	最高温度		1350℃
		常用温度		800~1150℃
		温度均匀		1150℃±5℃以内（符合AMS等标准）					在空炉中测量 5 个点
	冷却	气体冷却	93kPa	30分钟内					插入标准样品时从 1150°C 到 150°C
		气体冷却	290千帕	20分钟内					插入标准样品时从 1150°C 到 150°C
		至油冷却的运输时间		12秒			15秒	20秒	从加热室到注油
	真空	极限压力		10 ^-1 Pa 级（高真空10 ^-3 Pa 级可选）					空炉脱气后的值
		常压		133～13Pa
		排气时间		10分钟内				15分钟内	空气炉内压力从大气压到6.5Pa
		泄漏量 [Pa･m3 ^/ S]		3× ^10-4		4×10 ^-4	4×10 ^-4	5× ^10-4	由于压力增加
使用规格	所需电量 [kVA]	生长激素*		65	101	161	209	303	AC 200/220V（90种以上为400/440V）50/60Hz 3Φ
		G/LH*		73	110	187	-	第354章
		PHG*		70	109	175	228	第333章
		GHL*		85	130	223	-	-	表示平均用电量
	所需冷却水量 [m ³ /hr]	生长激素*		3	5	7	9	16	压力0.25MPa 水温30℃以下 *如果配备油扩散泵，则为 25°C 或更低
		G/LH*		3	4	5	-	-
		PHG*		4	5	8	11	18
		GHL*		4	6	9	11	18
	压缩空气量[Nm ³ /min]			有些					0.7兆帕
	载气量[L/min]			1.5	2	3	4.5	6	氮气（ _NTP ）
	冷却气体量[m ³ /次]			2.7	4.5	6	10	18	氮气（ _NTP ）
	冷却油量[m ³ ]			1.8	3.6	6	9	──
	冷却油加热器 [kW]			15	24	48	72	──
	安装尺寸[米]	2 间客房		3.4×5.7	3.9×7.4	4.6×8.7	5.5×9	7×12.5	宽×长
		3 间客房		3.4×8.1	3.7×9.4	4.6×10.6	5.5×12	7×17	宽×长
		G型PHG		3.5×0.5	3.9×0.5	5×0.5	5.5×0.5	6.5×0.5	高×深
		L型GHL		3.5×1.0	4×1.4	5×1.5	5.5×1.8	6.5×2.4	高×深

产品简介

详细介绍

卧式真空热处理炉FHH系列

特征

目的

规格

常用功能直达