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日本ULVAC爱发科半导体热辊真空热处理炉
日本ULVAC爱发科半导体热辊真空热处理炉
可广泛用于各种金属零件的热处理、钎焊、烧结等真空热处理。 通过采用热辊输送方式并组合各单元室，可以构成适合工艺的多室炉。
通过采用热辊输送方式，可以实现具有三个以上室的多室炉。
您可以根据您的工艺，通过组合准备室（真空/大气交换）、预热室（通常为 500℃）、加热室（通常为 1150℃）和冷却室单元来配置最佳设备。
通过用双闸阀分隔每个室，可以分离真空/大气。
通过使用载气法，可以在蒸发较少的情况下处理金属。
可以根据计划生产量添加单位。
可以在线处理加热 1 → 冷却 1 → 加热 2 → 冷却 2 → 从产品组中移除。
真空热处理：各种金属的热处理、钎焊
烧结处理：磁铁
| 规格/型号 | 6090 | 6150 | 评论 | ||
| 表现 | |||||
| 尺寸 | 均匀加热尺寸(mm) | 宽度 | 600 | 600 | |
| 长度 | 900 | 1500 | |||
| 高度 | 600 | 600 | |||
| 最大处理量（kg） | 500 | 800 | 包括托盘重量 | ||
| 温度 | 最高温度 | 预热室 | 600℃ | ||
| 加热室 | 1200℃ | ||||
| 常用温度 | 预热室 | 500℃ | |||
| 加热室 | 1100℃ | ||||
| 冷却 | 气体冷却 | 标准 | 30分钟内 | Ar、N2气体 可选 | |
| 压力式 | 190kPaG | ||||
| 真空 | 极限压力 | 标准 | 10 -1帕级 | 空炉脱气后值 | |
| 高真空型 | 10 -3帕级 | ||||
| 常压 | 标准(1) | 1Pa~10Pa | (1) 低真空中 (2) 载气中 | ||
| 标准(2) | 10Pa～100Pa | ||||
| 高真空型 | 10-2帕至10-1帕 | ||||
| 排气时间 | 准备室 | 10分钟内 | 空气炉内气压至10Pa以下 | ||
| 预热室 | 10分钟内 | ||||
| 冷却室 | 10分钟内 | ||||
| 泄漏率 | 准备室 | 4×10 -4以下 | 增压法 | ||
| 预热室 | 4×10 -4以下 | ||||
| 加热室 | 2×10 -4以下 | ||||
| 冷却室 | 4×10 -4以下 | ||||
| 公用事业 | |||||
3室型 | 电能（千伏安） | 300 | 第480章 | 设备电量 | |
| 冷却水量(m 3 /hr) | 15 | 18 | 水温：20-30℃ | ||
| 压缩空气量（Nm 3 /min） | 1100 | 1100 | 所需流量 | ||
| 载气量(L/min) | 80 | 200 | 流量计最大值 | ||
| 冷却气体量（m 3 /次） | 9 | 12 | 190kPa加压冷却 | ||
| 建筑面积（平方米） | 宽度 | 10 | 12 | ||
| 长度 | 10 | 13 | |||
| 高度 | 5.8 | 5.8 | |||
| 5室型 （预热×2加热×2冷却×1） | 电能（千伏安） | 第425章 | 750 | 设备电量 | |
| 冷却水量(m 3 /hr) | 二十五 | 30 | 水温：20-30℃ | ||
| 压缩空气量（Nm 3 /min） | 1100 | 1100 | 所需流量 | ||
| 载气量(L/min) | 160 | 300 | 流量计最大值 | ||
| 冷却气体量（m 3 /次） | 9 | 11.7 | 190kPa加压冷却 | ||
| 建筑面积（平方米） | 宽度 | 10 | 12 | ||
| 长度 | 12.5 | 17.5 | |||
| 高度 | 5.8 | 5.8 | |||
