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2022/8/16 15:07:15通常在科学研究、制造业中的精密测量等应用场景中,常使用一些高精度的转台,通过360°旋转被测物体,与相应的检测设备配合,实现被测物品的检测和质量控制。
这类需要使用的精密气浮转台,一般要求具有直驱无刷电机、增量式以及相应的驱动控制器和控制软件。常见的有机械轴承转盘和气浮轴承转盘两种。
测量精密气浮转台的精度主要取决于以下几个参数。
角精度可以通过配置更高标准的光栅尺反馈,这取决于光栅的直径大小,角度精度通常是±0.5-±2arcsec的范围。若某些特定的应用方案需要较高的角度精度,则可采用补偿的方法。通过自动准直仪校准,其角度精度可达<0.5arcsec。
机械式和气浮式轴承的转盘,其角度精度差别不大。
末端跳是指在转动任何旋转平台时,转台的转子工作面沿轴心上下方向跳动。一个径跳就是在旋转时,转台的转子轴在周围这一方向跳动。任何时候,转台旋转时都存在这两个误差,仅仅是误差大小的差别。
造成技术原理相似但精度差别很大的主要原因是:
空气浮轴承工艺及工艺;
转子、定子的加工精度,特别是圆度定子的加工;
转子和定子的表面粗糙度;
装配一体化流程;
马达的各种作用;
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