多轴气浮运动台的主要优点是什么

多轴气浮运动台成为应用趋势，伴随着半导体行业的快速发展，相应的加工检测设备也会逐渐地提高性能，因此很多公司都使用气浮台，这是一种用于半导体加工、检测、微纳加工、测试测量等高精度设备，但到底有哪些主要优势。

1.直线性和平面性高。

2.高定位精度和重复定位。

3.速度稳定。

4.偏摆、纵摇、滚动精度高。

气浮运动台的高直度和平面度取决于气浮导轨，材料分为铝合金、大理石、碳化硅陶瓷等，研究其压力分布、气源压力、节流器、均压槽深度等参数，找出了气膜刚度的参数区间，具有出色的性能精度，实现了高压气膜刚度的参数区间，并具有4G的加速度。

事实上，材料的选择和用户的应用有着密切的联系，单从性价比的角度来看，碳化硅陶瓷材料的气浮运动台精度高，当然成本也很高，铝合金与大理石材料的同样性能价格比，铝合金加工成本更低，铝合金材料成本更低。

采用*的直线电机驱动，选用不带铁芯的设计，具有无齿槽效应，高动态性能及电流噪声小等特点，使在运动过程中能达到超平稳的效果，另外配置光栅尺闭环反馈及*性控制系统，实现高精度和重复定位精度。

因此，从各方向的优点来看，多轴气浮运动台已成为目前从事高精密应用行业的选择，可以提高整个系统的精度性能。

以上就是小编为大家介绍的全部内容，看完这篇文章相信大家应该有所了解了。

感谢大家耐心的阅读完多轴气浮运动台小编分享的文章，如果有需要了解更多多轴气浮运动台及两轴气浮直线台的相关知识，欢迎联系我们，24小时竭诚为您服务！