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磁控溅射 磁控溅射卷绕镀膜机

型号
磁控溅射
参数
产地类别:国产 价格区间:面议 应用领域:地矿,冶金
沈阳科晶自动化设备有限公司

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切割机,金刚石线切割机,研磨抛光机,提拉涂膜机,旋转涂膜机,真空镀膜机,管式炉,箱式炉,电池实验研究设备,清洗机

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详细信息

产品简介:磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用*的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

技术参数

卷膜条件

镀膜材料:PET 和无纺布

适用制膜:软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

基材厚度:125~300μm

有效镀膜宽幅:≤800 mm

大卷绕直径:Φ400 mm

卷绕芯轴内径:4 寸

基材卷绕速度:1~2 m/min

基材卷绕张力:30 ~ 200 N

张力系统:交流伺服

溅镀方式:单面

真空条件

极限真空(空载、洁净):8×10-4Pa

恢复真空时间(空载、清洁):105Pa ~ 5×10-3Pa≤60 min

系统真空漏率:1.0×10-10 Pa.m3/s

磁控溅射阴极数量:3 个

膜均匀性偏差:≤±10%

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产品参数

产地类别 国产
价格区间 面议
应用领域 地矿,冶金
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