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VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪

型号
参数
产地类别:国产 价格区间:面议 应用领域:综合
沈阳科晶自动化设备有限公司

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详细信息

IMG_256VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪是我公司自主新研制开发的一款高真空镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪和两个电源,一个射频电源用于非导电材料的溅射镀膜,一个直流电源用于导电材料的溅射镀膜,可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,且具有体积小便于操作的优点,且可使用的材料范围广,是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。
IMG_2591、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。IMG_261

产品名称

VTC-600-2HD-1000双靶磁控溅射仪

产品型号

VTC-600-2HD-1000

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要

主要参数

1、输入电源:220V/50Hz
2、溅射靶数量:2
3、腔体内径:Ø300mm
4、靶枪冷却方式:水冷
5、极限真空度:7.4E-5pa
6、真空室规格:Φ300×330 mm
7、真空系统:VRD-16机械泵 FF-100/150涡轮分子泵
8、恢复真空:系统从大气抽至5.0E-3pa≤30 min(系统短时间暴露大气)
9、充气系统:2路质量流量计(1路氩气100scc、2路氩气200scc)特殊气体可定制
10、溅射靶规格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
11、样品台:Φ140mm/可旋转(1~20rpm)/可加热(室温~1000℃)

产品规格

主机尺寸:宽900mm×深650mm×高1100mm


 


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产品参数

产地类别 国产
价格区间 面议
应用领域 综合
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