用于 TEM 样品制备（包括 3D 表征、横截面成像和微加工）的等离子体聚焦离子束扫描电子显微镜

Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam（聚焦离子束扫描电子显微镜或 FIB-SEM）是具有的功能，专用于材料科学和半导体应用的显微镜。材料科学研究人员可以通过 Helios 5 PFIB DualBeam 实现大体积 3D 表征、无镓样品制备和精确的微加工。半导体设备、先进包装技术和显示设备的制造商通过 Helios 5 PFIB DualBeam 可实现无损伤、大面积反处理、快速样品制备和高保真故障分析。

材料科学的主要特点

无镓 STEM 和 TEM 样品制备

由于新 PFIB 色谱柱可实现 500 V Xe+ 最终抛光和所有操作条件下的优异性能，因此可以实现高质量、无镓  TEM 和 APT 样品制备。

新一代 2.5 μA Xenon 等离子 FIB 色谱柱

使用新一代 2.5 μA Xenon 等离子 FIB 色谱柱 (PFIB) 实现高通量和高质量的统计学相关 3D 表征、横截面成像和微加工。

低能量下具有亚纳米性能

凭借具有高电流 UC+ 单色器技术的 Elstar 电子色谱柱，可以在低能量下实现亚纳米性能，从而显示最细致的细节信息。

先进的功能

通过 FIB/SEM 系统采用选配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 气输送系统，实现的电子和离子束诱导沉积及蚀刻功能。

短时间获得纳米级信息

借助 SmartAlign 和 FLASH 技术，任何经验水平的用户都可以最短时间获得纳米级信息。

先进的自动化

使用选配的 AutoTEM 5 软件最快、地实现自动化的多点原位和非原位 TEM 样品制备以及横截面成像。

多模式亚表面和 3D 信息

使用选配的 Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件，访问高质量、多模式亚表面和 3D 信息并精确定位感兴趣区。

完整的样品信息

可通过多达六个集成在色谱柱内和透镜下的集成检测器获得清晰、精确且无电荷对比度的最完整的样品信息。

无伪影成像

无伪影成像基于集成的样品清洁度管理和专用成像模式，例如 SmartScan™ 和 DCFI 模式。

精确的样品导航

由于 150 mm 压电载物台和选配腔室内 Nav-Cam 导航具有高稳定性和准确性，可根据具体应用需求定制精确的样品导航。

材料科学规格