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日本 Toho FLX-2320系列 薄膜应力测试仪
- 型号
- 日本 Toho FLX-2320系列
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北京中科复华科技有限公司是一家致力于为半导体领域和微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供的半导体设备仪器和微纳米科学仪器，拥有一支经验丰富、技术过硬的技术团队。能够出色地完成售前、售中、售后的服务。 未来公司将不断和引进在微纳米科学领域中起重要作用的新仪器和新产品，同时也与全国各所的大学、学院和科研院所建立了良好的合作关系，致力于把具有市场前景的科研成果推向市场。愿与中、外同仁广泛合作， 为中国的教育与科研事业在广范围、高层次上提供服务。
详细信息
技术参数：
Toho FLX-2320-S薄膜应力计精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。
主要特点：
◆双光源扫描（可见光激光源及不可见光激光源），系统可自动选择适合的匹配之激光源；
◆系统内置升温、降温模拟系统，便于量测不同温度下薄膜的应力，温度调节范围为-65℃至500℃；
◆自带常用材料的弹性系数数据库，并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库，便于新材料研究；
◆形象的软件分析功能，用于不同测量记录之间的比较，且测量记录可导出成Excel等格式的文档；
◆具有薄膜应力3D绘图功能。
用户界面：
WINDOWS OS易懂操作界面。
另搭载丰富的基板材料数据库。自动保存测量数据等方便性能。
每个用户可分别设定访问权限。使用自带软件实现简单却性能高，简单测量
